特許

J-GLOBAL ID：200903024306943644

ガスセンサ素子の製造方法及びこれに用いるバキュームチャック用治具

発明者： 延命 昭一郎
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 高橋 祥泰 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-148318
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340848
出願日： 2001年05月17日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】 耐久性に優れると共に変形を生じ難いガスセンサ素子の製造方法及びこれに用いるバキュームチャック用治具を提供すること。【解決手段】 電極を備えた固体電解質板13を含む複数枚のセラミック板を積層することにより構成されたガスセンサ素子1を製造するに当たり,各セラミック板用生シートを準備し,各セラミック板用生シートを2枚ごとに,位置決めを施してバキュームチャックと共に接着剤を利用して積層接着することにより所望の枚数のセラミック板用生シートよりなる未焼成積層体を作製し,その後該未焼積層体を焼成する。また,この方法に用いるバキュームチャック用治具。

請求項（抜粋）：

電極を備えた固体電解質板を含む複数枚のセラミック板を積層することにより構成されたガスセンサ素子を製造するに当たり,各セラミック板用生シートを準備し,各セラミック板用生シートを2枚ごとに,位置決めを施してバキュームチャックと共に接着剤を利用して積層接着することにより所望の枚数のセラミック板用生シートよりなる未焼成積層体を作製し,その後該未焼積層体を焼成することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。

IPC (3件)：

G01N 27/41 ,  G01N 27/409 ,  G01N 27/416

FI (4件)：

G01N 27/46 325 J ,  G01N 27/46 325 G ,  G01N 27/58 B ,  G01N 27/46 331

Fターム (6件)：

2G004BB04 ,  2G004BD04 ,  2G004BE13 ,  2G004BE19 ,  2G004BE22 ,  2G004BM07