特許
J-GLOBAL ID：200903024314359200
露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-065717
公開番号（公開出願番号）：特開平7-249567
出願日： 1994年03月09日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：
【要約】【目的】 マスクと基板との相対的な位置制御を正確に行うことのできる露光装置を提供すること。【構成】 本発明の露光装置では、第1位置検出手段は、前記第1の基板と一体的に移動する第1移動反射鏡と、所定位置に固定された第1固定反射鏡と、前記第1移動反射鏡からの反射光と前記第1固定反射鏡からの反射光との干渉光を受光するための第1受光手段とを備え、第2位置検出手段は、前記第2の基板と一体的に移動する第2移動反射鏡と、所定位置に固定された第2固定反射鏡と、前記第2移動反射鏡からの反射光と前記第2固定反射鏡からの反射光との干渉光を受光するための第2受光手段とを備え、前記第1固定反射鏡および第2固定反射鏡は一体的に形成された共通固定反射鏡からなる。
請求項（抜粋）：
第1の基板の位置情報を検出するための第1位置検出手段と、第2の基板の位置情報を検出するための第2位置検出手段とを備え、投影光学系を介して前記第1の基板上に形成されたパターンを前記第2の基板上に投影露光する露光装置において、前記第1位置検出手段は、前記第1の基板と一体的に移動する第1移動反射鏡と、所定位置に固定された第1固定反射鏡と、前記第1移動反射鏡からの反射光と前記第1固定反射鏡からの反射光との干渉光を受光するための第1受光手段とを備え、前記第2位置検出手段は、前記第2の基板と一体的に移動する第2移動反射鏡と、所定位置に固定された第2固定反射鏡と、前記第2移動反射鏡からの反射光と前記第2固定反射鏡からの反射光との干渉光を受光するための第2受光手段とを備え、前記第1固定反射鏡および第2固定反射鏡は、一体的に形成された共通固定反射鏡からなることを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
