特許
J-GLOBAL ID：200903024315220957
パターン検査装置および走査型電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-232566
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082264
出願日： 1995年09月11日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】 ステージを移動させながらパターン検査を行えるようにして検査処理のスループット向上を図る。【解決手段】 電子銃1からの電子線は、アパーチャーを通過した後、コンデンサレンズ2により集光され、副偏向器3および主偏向器4を通過した後、対物レンズ6を通過してステージ5に載置された被検体上の所定箇所に結像される。被検体に電子線が照射されると、被検体から反射電子または2次電子が放出されて検出器14に入力されて増幅器15で増幅された後、主偏向器4のX軸(水平)方向走査用のクロックに同期してA/D変換器16でデジタル値に変換される。また、副偏向系を制御することで、ステージ5の移動速度が変化しても、被検体上での電子線の移動速度が常に所定速度以下となるようにし、ステージ5を停止することなくパターン検査を行えるようにし、検査処理のスループット向上を図る。
請求項（抜粋）：
上面に被検体が載置され、少なくとも一方向に移動可能なステージと、電子線源から射出された電子線を前記被検体上で走査する主走査手段と、前記電子線の照射に起因して前記被検体から発生される2次電子または反射電子に基づいて前記被検体上に形成されたパターンの検査を行うパターン検査手段とを備えたパターン検査装置において、前記主走査手段とは別個に設けられ、前記ステージを停止することなく前記パターン検査手段によるパターン検査を行えるように、前記主走査手段による走査および前記ステージの移動に応じて前記電子線を前記被検体上で走査する副走査手段を備えることを特徴とするパターン検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/28 Z
, H01J 37/29
