圧電素子及び圧電素子製造方法、インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石川泰男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-210823
公開番号（公開出願番号）：特開平11-048477
出願日： 1997年08月05日
公開日（公表日）： 1999年02月23日
要約：

【要約】【課題】低電圧の電圧でも十分な変形量が得られると共に、容易に製造することが可能な圧電加圧素子等を提供する。【解決手段】圧電体層20gのインク室16に対応する位置に電極層19gを形成すると共に、圧電体層20gの周縁部24に対応する位置に電極層23を形成する。そして、その上に、圧電体層20fを積層すると共に当該圧電体層20fのインク室に対応する位置に電極層19f、19e、19d、19c、19b、19aと圧電体層20e、20d、20c、20b、20aを交互に積層する。そして、電極層19a、19b、19c、19d、19e、19f、19gを用いて圧電体層20a、20b、20c、20d、20e、20fを伸縮モードで変形させ、一方、電極層19g及び23を用いて圧電体層20f及び20gをシェアモードで変形させ、更に電極層19g及び19fを用いて圧電体層20fをユニモルフモードで変形させてインク室16内のインクを加圧する。

請求項（抜粋）：

インク室に貯留されているインクに圧力変動を与えることにより当該インクを吐出させて記録情報の記録を行うインクジェットヘッドにおける前記圧力変動を与える圧電素子であって、前記インク室及び当該インク室の周縁部を覆うように固定され、その厚み方向に分極された第1圧電体層と、前記第1圧電体層の前記インク室に対応する位置に形成された第1電極と、前記第1圧電体層の前記周縁部に対応する位置に形成された第2電極と、前記第1圧電体層の表面の前記インク室に対応する位置に固定された積層圧電体層であって、当該積層圧電体層に含まれる各単位圧電体層がその積層方向に一層毎に反対の方向に分極されると共に、複数の前記単位圧電体層の夫々の層間に電極層が形成されてなる積層圧電体層と、を備え、前記第1電極及び前記第2電極を用いて前記第1圧電体層の分極方向と交差する方向に電界を印加し、シェアモードにより当該第1圧電体層を変形させると共に、各前記電極層を用いて複数の前記単位圧電体層の分極方向と平行に電界を印加し、伸縮モードにより前記積層圧電体層を変形させて前記圧力変動を与えることを特徴とする圧電素子。

IPC (5件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/083 , H01L 41/22

FI (4件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , H01L 41/08 S , H01L 41/22 Z

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平2-206556
特開平3-227247
特開平4-371845

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審査官引用 (4件)

特開平2-206556
特開平3-227247
特開平4-371845

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