特許

J-GLOBAL ID：200903024334184821

角速度検出器

発明者： 倉知 秀哉 ,  加藤 学
出願人/特許権者： アイシン精機株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-149954
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340561
出願日： 2001年05月18日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】 個体間での検出感度のばらつきを抑制する。【解決手段】 各第2支持梁23は、検出側振動子16を基板14に対しY軸方向で振動可能に駆動側振動子15に支持する。また、各第2支持梁23は、駆動側振動子15及び検出側振動子16がX軸方向にその共振周波数で励振されるとき、検出側振動子16を駆動側振動子15よりも大きな振幅でX軸方向に振動させる。そして、検出側振動子16のX軸方向での共振周波数と同じくY軸方向での共振周波数とを共に決定する。このことにより、シリコン材料からなる基板14上に半導体プロセスによって形成される角速度検出器11の検出感度が、製造上の寸法ばらつきによって設計値からばらつき難いようにする。

請求項（抜粋）：

基板と、駆動側振動子と、検出側振動子と、駆動側振動子を基板に対し第1方向に振動可能に支持する第1支持梁と、検出側振動子を第1方向に直交する第2方向に振動可能に駆動側振動子に対して支持する第2支持梁と、外部から供給される駆動信号によって駆動側振動子を検出側振動子と共に第1方向に励振する駆動手段と、検出側振動子の第2方向での変位を検出して検出信号を出力する検出手段とを備えた角速度検出器において、前記第2支持梁は、駆動側振動子及び検出側振動子が第1方向での共振周波数で第1方向に励振されるとき、検出側振動子を駆動側振動子よりも大きな振幅で第1方向に振動させるように形成されていることを特徴とする角速度検出器。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z

Fターム (14件)：

2F105BB08 ,  2F105BB20 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112FA03 ,  4M112FA20