測長機能を備えた走査電子顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木道人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-159967
公開番号（公開出願番号）：特開平6-347246
出願日： 1993年06月07日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：

【要約】【目的】測長機能を備えた走査電子顕微鏡において、自動測長の結果が許容範囲を外れた場合に、測長結果が正しいか否かを容易に判断できるようにする。【構成】観察対象の走査像31やラインプロファイル波形32と共に、当該ラインプロファイル信号波形32の変化率を表す微分信号波形33を画面上に重畳表示する。

請求項（抜粋）：

収束された電子ビームを試料上で走査して測長対象物の走査像を表示する手段と、走査像の予定位置のラインプロファイル信号を検出する手段と、ラインプロファイル信号の変化率を示す変化率信号を検出する手段と、前記変化率信号の波形を、走査像およびラインプロファイル信号の少なくとも一方と共に画像表示する手段と、ラインプロファイル信号に基づいて測長開始点および終点を判断する手段と、前記測長開始点および終点間の距離を検出する手段とを具備したことを特徴とする測長機能を備えた走査電子顕微鏡。

IPC (3件)：

G01B 15/00 , H01J 37/22 , H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭59-210312
特開昭62-237307
特開昭59-141157

全件表示

前のページに戻る