特許
J-GLOBAL ID：200903024352681964
角速度検出用振動子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
足立 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-124744
公開番号（公開出願番号）：特開平11-030523
出願日： 1998年05月07日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【課題】 音叉形状若しくは複数の音叉を合成した形状の圧電体からなる角速度検出用振動子を、圧電体の配向方向が均一で、常に安定した検出特性が得られるように製造する。【解決手段】 圧電体からなる音叉形状の振動子2の表面(X1)に駆動電極、モニタ電極、分極用電極等を備え、側面(Y1,Y2)面に検出電極を備え、裏面(X2)にこれら各電極の共通電極を備えた角速度検出用振動子を製造する際には、まず第1工程で、X1,X2面に電極を形成し、第2工程で、X1,X2面に形成した電極間に分極電圧を印加することにより、圧電体を分極処理し、その後、第3工程で、Y1,Y2面に電極を形成する。この結果、分極処理の際にY1,Y2面の電極の影響を受けることなく圧電体を均一に分極させることができ、角速度の検出精度を向上できる。また、第3工程で電極を形成する際には、分極特性に影響を与えることのないよう、低温硬化型の導電性樹脂を用いる。
請求項（抜粋）：
互いに略平行に配置された少なくとも一対のアーム部と各アーム部を連結する連結部とにより形成された圧電体からなり、前記アーム部の配列方向に略平行な表・裏面、及び、該表・裏面に略直交する側面に、少なくとも、外部から交流電圧を受けて前記各アーム部を各アーム部の配列方向である駆動軸方向に励振する駆動電極、及び、各アーム部において前記駆動軸とは直交する検出軸方向に生じる振動を検出する検出電極、を含む角速度検出用の電極が形成された角速度検出用振動子の製造方法であって、前記圧電体の表・裏面に、該表・裏面に配置すべき角速度検出用の電極を形成する第1工程と、該第1行程で前記圧電体の表・裏面に形成された電極間に、分極用の電圧を印加して、前記圧電体を前記表・裏面に略直交する方向に分極処理する第2工程と、該分極処理後の圧電体の前記側面に、該側面に配置すべき角速度検出用の電極を形成する第3工程と、からなることを特徴とする角速度検出用振動子の製造方法。
IPC (4件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 41/08
, H01L 41/22
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 41/08 Z
, H01L 41/22 B
