特許

J-GLOBAL ID：200903024355484175

検査方法およびその装置

発明者： 石田 太
出願人/特許権者： ミノルタ株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-083464
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281584
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 透明または半透明材料からなる被検物の欠陥を容易に検査できる検査方法およびこの方法を用いた検査装置を提供する。【解決手段】 光源から出た光により透明または半透明な材料からなる被検物を照明し、その透過光から被検物の欠陥を検査する検査装置において、被検物を照明する光が略平行光である。この検査装置によれば、被検物に欠陥が存在する場合、略平行光で照射されるので、欠陥に入射する光束の角度がほぼ同じとなり、散乱する方向も揃うので、被検物を透過した光の中から欠陥部分を非欠陥部分から明瞭に識別できる。よって、非常に小さな欠陥も容易に各種光センサ・目視で検出できる。

請求項（抜粋）：

透明または半透明な材料からなる被検物を照明し、その透過光から被検物の欠陥を検査する検査方法において、上記被検物を照明する光が略平行光であることを特徴とする検査方法。