特許

J-GLOBAL ID：200903024357698814

サンプルの検査方法及び検査装置並びに検査装置の管理方法

発明者： 関 秀俊
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-241070
公開番号（公開出願番号）：特開2003-059994
出願日： 2001年08月08日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】作業者の負担を軽減し、自動化ラインの停止時間を最小限にして効率的運用を行うことを可能としたサンプルの検査方法及び検査装置並びに検査装置の管理方法を提供する。【解決手段】被検査サンプルを検査装置によって自動的に検査する方法において、複数の被検査サンプルを連続して測定している検査途中に、自動的に標準サンプルの測定を行い、その結果をもとに前記検査装置を自動管理しながら被検査サンプルを連続測定するようにした。

請求項（抜粋）：

被検査サンプルを検査装置によって自動的に検査する方法において、複数の被検査サンプルを連続して測定している検査途中に、自動的に標準サンプルの測定を行い、その結果をもとに前記検査装置を自動管理しながら被検査サンプルを連続測定することを特徴とするサンプルの検査方法。

IPC (5件)：

H01L 21/66 ,  G01N 35/02 ,  H01L 21/68 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/35

FI (6件)：

H01L 21/66 Z ,  G01N 35/02 C ,  G01N 35/02 G ,  H01L 21/68 A ,  G01N 21/27 F ,  G01N 21/35 Z

Fターム (34件)：

2G058GC01 ,  2G058GC05 ,  2G058GE04 ,  2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB16 ,  2G059CC03 ,  2G059CC07 ,  2G059DD12 ,  2G059DD13 ,  2G059EE12 ,  2G059HH01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM12 ,  2G059MM14 ,  4M106AA01 ,  4M106CA10 ,  4M106CB01 ,  4M106DH09 ,  4M106DH11 ,  4M106DJ38 ,  5F031CA01 ,  5F031CA11 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031JA02 ,  5F031JA50 ,  5F031JA51 ,  5F031MA09 ,  5F031MA33 ,  5F031PA02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-055572
  
• 特開昭64-026159
  
• 特開平1-187461