特許
J-GLOBAL ID：200903024368631002
キャピラリ及びその製造方法並びにこれを用いた走査型近接場顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-180835
公開番号（公開出願番号）：特開平10-026628
出願日： 1996年07月10日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：
【要約】【課題】 走査型近接場顕微鏡のプローブ等に用いられるキャピラリを、その先端部の開口を精度良く所望の口径に形成できる構造にする。【解決手段】 本体部50Cが筒状に先端部50Bが先細りのテーパ状に形成されたキャピラリ50において、少なくとも、その先端部50Bの内壁50Eに、所定膜厚の金属膜51が形成されている。
請求項（抜粋）：
本体部が筒状に先端部が先細りのテーパー状に形成されたキャピラリにおいて、少なくとも上記先端部の内壁に金属膜が形成されていることを特徴とするキャピラリ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 E
, G01B 11/30 Z
