特許
J-GLOBAL ID：200903024369973454
摺動部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-079427
公開番号（公開出願番号）：特開平7-256820
出願日： 1994年03月24日
公開日（公表日）： 1995年10月09日
要約：
【要約】【目的】 高い滑り性、優れた耐摩耗性、耐久性を確保し、精密製品としての利用も可能にする。【構成】 基材2の表面に、ダイヤモンド薄膜層3を形成する。そして、このダイヤモンド薄膜層3の最表面3aをフッ素化し、フッ素がダイヤモンド薄膜層3の炭素と共有結合した表面とする。基材2とダイヤモンド薄膜層3とは、公知の薄膜形成技術により非常に高い密着性を有し、また、ダイヤモンド薄膜層3は、極めて薄くかつ均一に形成し、基材2の基礎形状を変えることがないように形成する。
請求項（抜粋）：
基材表面にダイヤモンド薄膜からなる層を形成するとともに、該層の最表層に前記ダイヤモンド薄膜の炭素と共有結合したフッ素が存在することを特徴とする摺動部材。
IPC (3件)：
B32B 15/08 102
, F16C 33/12
, F16C 33/24
