特許

J-GLOBAL ID：200903024372946980

レジストパターンの形成方法及びインクジェット用ノズルプレートの製造方法

発明者： 及川 達彦 ,  飴山 実 ,  太田 善久
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-252556
公開番号（公開出願番号）：特開平8-118657
出願日： 1994年10月18日
公開日（公表日）： 1996年05月14日
要約：

【要約】【目的】 テーパ形状ノズル孔を有するノズルプレートの製造を簡単に行うことを可能にする。【構成】 基板21上に感光性樹脂層22を設け、この感光性樹脂層22上に所定量lだけ離間させてマスク部材23を配置して露光することで、マスク部材23のエッジから照射量の勾配を設け、ノズル孔形成用のレジストパターン25のエッジ部をテーパ形状に形成する。

請求項（抜粋）：

基板上に感光性樹脂層を設け、この感光性樹脂層上にマスク部材を配置して露光、現像することで所要のレジストパターンを形成するレジストパターンの形成方法において、前記マスク部材のエッジから照射量の勾配を設けて前記感光性樹脂層を露光して、前記レジストパターンのエッジ部をテーパ形状に形成することを特徴とするレジストパターンの形成方法。