特許

J-GLOBAL ID：200903024375259275

太陽電池の製造方法

発明者： 手島 章友
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-304878
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133825
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】 低コストで簡単に高光電変換効率を得られる太陽電池の製造方法を提供する。【解決手段】 基板1上の透明導電膜2上に微結晶水素化アモルファスシリコン層3を形成する種結晶形成工程と、微結晶水素化アモルファスシリコン層3から柱状構造の水素化アモルファスシリコンからなる本体層4a〜4cを成長させる本体層形成工程と、本体層4a〜4cを溶融させることなく固相成長させるように熱処理して柱状構造領域を単結晶化させて本体層5a〜5cを形成する本体層熱処理工程と、本体層5c上に裏面電極6を形成する第二電極形成工程とを行うことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

第一の電極上に種結晶を形成する種結晶形成工程と、前記種結晶から柱状構造の水素化アモルファスシリコンからなる本体層を成長させる本体層形成工程と、前記本体層を溶融させることなく固相成長させて柱状構造領域を単結晶化させるように熱処理する本体層熱処理工程と、前記本体層上に第二の電極を形成する第二電極形成工程とを行うことを特徴とする太陽電池の製造方法。

Fターム (6件)：

5F051AA04 ,  5F051AA05 ,  5F051CA15 ,  5F051CB01 ,  5F051CB24 ,  5F051DA04