特許
J-GLOBAL ID：200903024386215768
液体噴射ヘッド、該ヘッドを具備する液体噴射装置及び該ヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-298131
公開番号（公開出願番号）：特開平8-156268
出願日： 1994年12月01日
公開日（公表日）： 1996年06月18日
要約：
【要約】【目的】 インクジェット記録方式に用いる記録液小滴を発生するための信頼性の高い微細ノズルを有する液体噴射ヘッド、該ヘッドを具備する液体噴射装置及び該ヘッドの容易且つ安定的な製造方法を提供する。【構成】 ポジ型フォトレジストにより形成される液流路間の隔壁となる部分を、予め基板との密着性に優れる液体状の低温硬化可能な樹脂組成物(ジサルファイド結合を有するエポキシ変性樹脂等)で被覆し硬化させて形成することにより、トランスファー成形時のレジストパターンの変形や変質を防止することのできる目的の液体噴射ヘッド、該ヘッドを具備する液体噴射装置及び該ヘッドの製造方法が提供される。
請求項（抜粋）：
液体吐出エネルギー発生部を有する被処理基板上にポジ型フォトレジストから成る感光層を形成し、所要の露光、現像処理を行って液流路及び液室部分となるレジストパターンを形成した後、液流路となるレジストパターン上に低温硬化可能な液体状の樹脂組成物を被覆後硬化させ、被処理基板上に熱硬化型の樹脂材料をトランスファーモールド法により被覆し、該樹脂材料を硬化させた後パターニング処理されたポジ型フォトレジストを溶解除去することにより液流路及び液室部分が形成される構造を有する液体噴射ヘッドにおいて、前記液流路となるレジストパターン上に被覆される低温硬化可能な液体状の樹脂組成物が、ジサルファイド結合を有するエポキシ変性樹脂を含有して成ることを特徴とする液体噴射ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/05
, G01D 15/18
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
