角速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉信興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-171870
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009471
出願日： 1998年06月18日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】振動子の連続振動を安定なものとし、角速度検出精度を高くする。【解決手段】一点Oに関して対称な位置にある、対のx振動子(2,3);これらに連続し、少くともx方向に撓む連結梁(1);これに連続し、かつ点Oと連結梁との間にx,y方向に撓む第1可撓梁(41,42)を含む、点Oに関して対称な第1支持梁(4);点Oに関して対称な検出振動子(5/6);これらに連続し、かつ点Oとの間にy方向に撓む第2可撓梁(71,72/81,82)を含む、点Oに関して対称な第2支持梁(7/8);点Oにおいて第1支持梁(4)および第2支持梁(7/8)を支持するアンカー(120);x振動子(2,3)を、逆相で振動駆動する励振手段(10A,10B);および、検出振動子(5/6)のy振動を検出する手段(111,112);を備える。検出振動子(5/6)はy軸からx方向に離れ、点Oに関して対称である。

請求項（抜粋）：

x,y平面上の一点Oに関して対称な位置にある、対のx振動子;x,y平面に分布し、点Oに関して対称であって、対のx振動子のそれぞれに連続し、少くともx方向に撓む連結梁;連結梁に連続し、かつ点Oと連結梁との間にx,y方向に撓む第1可撓梁を含む、点Oに関して対称な第1支持梁;点Oに関して対称な検出振動子;検出振動子に連続し、かつ点Oとの間にy方向に撓む第2可撓梁を含む、点Oに関して対称な第2支持梁;点Oにおいて第1支持梁および第2支持梁を支持するアンカー;対のx振動子を、x方向に逆相で振動駆動する励振手段;および、検出振動子のy方向振動を検出する手段;を備える角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Fターム (7件)：

2F105BB03 , 2F105BB04 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD11 , 2F105CD13

引用特許：

出願人引用 (7件)

回転角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-207355 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
慣性レートセンサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-026017 出願人：ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド
回転角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-306238 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

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審査官引用 (3件)

回転角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-207355 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
慣性レートセンサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-026017 出願人：ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド
回転角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-306238 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

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