磁気記録媒体の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：辻実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-035768
公開番号（公開出願番号）：特開平10-233334
出願日： 1997年02月20日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】磁気記録層とヨーク層とを一体の層により構成することができ、かつ磁気効率の向上を図った磁気記録媒体の製造方法を提供しようとすること。【解決手段】初期に窒素及び/又は炭素を含有するガス雰囲気中で希土類金属と鉄の合金を成膜することにより、下層側を軟磁性層に形成し、引き続き膜上層の窒素及び/又は炭素濃度を膜下層より小さくして、希土類金属と鉄の合金を成膜することにより、該下層の上層にこれと一体不可分に硬磁性層を形成し、それらの接する部分で、いずれか一方の層に向かって他方の層の組成が漸減する構成により両者の境界部分5が形成され、下層をヨーク層3とし上層を磁気記録層4として形成する磁気記録媒体の製造方法。

請求項（抜粋）：

磁気記録媒体の基板上に軟磁性層からなるヨーク層と、該ヨーク層の上面に形成される磁気記録層とを具備する磁気記録媒体の製造方法において、初期に不活性ガス及び窒素、炭素、ボロンの内少なくとも1つの元素を含むガス雰囲気中で希土類金属と鉄の合金を基板上にスパッタリングして希土類金属と鉄との合金中に上記元素を含有せしめた合金膜を成膜し、引き続き窒素、炭素、ボロンの内少なくとも1つの元素を含むガスの供給を止めて合金膜を成膜することにより、下層側を軟磁性層に形成し、該下層の上層にこれと一体不可分に硬磁性層を形成し、それらの接する部分で、いずれか一方の層に向かって他方の層の組成が漸減する構成により両者の境界部分が形成され、下層をヨーク層とし上層を磁気記録層として形成してなることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (2件)：

H01F 41/18 , G11B 5/85

FI (2件)：

H01F 41/18 , G11B 5/85 C

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-129029
磁性材料、その製造方法および使用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-086632 出願人：ザ・プラバスト・フェローズ・アンド・スカラーズ・オブ・ザ・カリッジ・オブ・ザ・ホリー・アンド・アンディバイディッド・トリニティー・オブ・クィーン・エリザベス・ニア・ダブリン
結晶性薄膜およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-035166 出願人：三菱化成株式会社

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