レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-160201
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354072
出願日： 1998年06月09日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】レーザイオン化中性粒子質量分析において、試料から発生する二次イオン起因のバックグラウンドを低くすることによって高感度で分析する。【解決手段】試料から放出される二次イオンを、光励起イオンを質量分析計に導く方向とは別方向に導く。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線もしくは光を試料に照射して、試料から放出される中性粒子に、レーザビームを照射して発生した光励起イオンを質量分析計で分析して、試料内の被検元素の濃度もしくは分布などを調べるレーザイオン化中性粒子質量分析装置において、試料から放出される二次イオンを試料直上から導く方向を、上記光励起イオンを上記質量分析計に導く方向とは別方向にするように構成したことを特徴とするレーザイオン化中性粒子質量分析装置。

IPC (4件)：

H01J 49/14 , G01N 23/225 , G01N 27/62 , G01N 27/64

FI (4件)：

H01J 49/14 , G01N 23/225 , G01N 27/62 G , G01N 27/64 B

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