特許
J-GLOBAL ID：200903024394624448
圧力速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
青山 葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-085132
公開番号（公開出願番号）：特開2002-286571
出願日： 2001年03月23日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：
【要約】【課題】 部品点数,組立工数が少なく、取付作業,接続作業が容易な小型の圧力速度センサを提供することにある。【解決手段】 上方に膨出するダイヤフラム16の周辺縁部を第2固定電極となるベース部材21に固着一体化して基準圧力室26を形成する。そして、この基準圧室26内で、前記ダイヤフラム16の下面に固定した第1可動電極18と、前記第1可動電極18とを所定間隔で対向するように配置する。さらに、前記ベース部材21の外側底面に第2可動電極30を所定間隔で対向するように配置する。
請求項（抜粋）：
上方に膨出する隔膜の周辺縁部を第2固定電極となるベース部材に固着一体化して形成した基準圧力室内で、第1可動電極とした前記隔膜の下面に第1固定電極を所定間隔で対向するように配置する一方、前記ベース部材の外側底面に第2可動電極を所定間隔で対向するように配置したことを特徴とする圧力速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2F055AA12
, 2F055BB19
, 2F055CC02
, 2F055DD20
, 2F055EE25
, 2F055FF01
, 2F055GG11
