特許

J-GLOBAL ID：200903024395844719

積層セラミツクコンデンサの製造方法

発明者： 柴 田 将 充 ,  浜 地 幸 生 ,  坂 部 行 雄
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 岡田 全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-262907
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074651
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【目的】 卑金属およびその合金を内部電極とし、誘電体セラミック層の厚みが薄い積層セラミックコンデンサを製造する際に、厚みの薄い内部電極を所定のパターンに正確に形成することができる、積層セラミックコンデンサの製造方法を提供する。【構成】 内部電極となるべき薄膜26を金属基板24上にあらかじめ所定のパターンをもって形成する。そして、薄膜26を誘電体セラミックのグリーンシート28上に転写する。なお、薄膜26は、内部電極に用いられる卑金属およびその合金のペレットを母材としてもよい。また、薄膜26は、所定のパターンをもったメタルマスクを通した蒸着あるいはスパッタリングによって、金属基板24上に形成してもよい。

請求項（抜粋）：

卑金属およびその合金を内部電極に用いる積層セラミックコンデンサの製造方法において、内部電極となるべき薄膜を金属基板上にあらかじめ所定のパターンをもって形成し、前記薄膜を誘電体セラミックのグリーンシート上に転写することを特徴とする、積層セラミックコンデンサの製造方法。

IPC (3件)：

H01G 4/12 364 ,  H01G 4/12 352 ,  H01G 4/30 311