特許
J-GLOBAL ID:200903024405029784
角速度センサ及び振動周波数調整方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小池 晃 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-152933
公開番号(公開出願番号):特開2000-337883
出願日: 1999年05月31日
公開日(公表日): 2000年12月08日
要約:
【要約】【課題】 角速度センサの振動子の共振周波数を所定の周波数にする調整を容易に行い、なおかつ精度等を信頼性のあるものにする。【解決手段】 振動子1を励振させるとともに、回転運動により生じるコリオリ力による当該振動子の振動方向の変化を検出するための圧電素子2a,2bの圧電体2aa,2baの分極量を調整することで、振動子1の共振周波数を所定の周波数に調整する。
請求項(抜粋):
分極された圧電体により振動される略柱形状の振動子を備え、上記圧電体に同相電圧を印加して上記振動子を励振させるとともに、回転運動により生じるコリオリ力による当該振動子の振動方向の変化を上記圧電体により検出することで角速度を検出するものであって、上記圧電体は、上記振動子の振動周波数調整工程において分極量が調整されていることを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (8件):
2F105AA02
, 2F105AA08
, 2F105BB04
, 2F105BB15
, 2F105CC06
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD11
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