特許
J-GLOBAL ID:200903024407082097
感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
小栗 昌平
, 本多 弘徳
, 市川 利光
, 高松 猛
, 濱田 百合子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-308700
公開番号(公開出願番号):特開2005-077811
出願日: 2003年09月01日
公開日(公表日): 2005年03月24日
要約:
【課題】 PED温度依存性、ラインエッジラフネスについて、改良された感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】 (A)活性光線の照射により、芳香族スルホン酸又はアルファ位がフッ素原子で置換されていない脂肪族スルホン酸を発生する化合物及び(B)単環又は多環の環状炭化水素構造を有するとともに少なくとも1種類のアクリル酸エステル由来の繰り返し単位を有し、且つガラス転移温度が70〜150°Cである、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度を増大する樹脂を含有する感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(A)活性光線の照射により、芳香族スルホン酸又はアルファ位がフッ素原子で置換されていない脂肪族スルホン酸を発生する化合物及び
(B)単環又は多環の環状炭化水素構造を有するとともに少なくとも1種類のアクリル酸エステル誘導体由来の繰り返し単位を有し、且つガラス転移温度が70〜150°Cである、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂
を含有することを特徴とする感光性組成物。
IPC (2件):
FI (2件):
G03F7/039 601
, H01L21/30 502R
Fターム (15件):
2H025AA00
, 2H025AA03
, 2H025AB16
, 2H025AC03
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE07
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB14
, 2H025CB41
, 2H025CB45
, 2H025CB60
, 2H025FA17
引用特許:
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