圧電デバイス、その製造方法及び移動体通信装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松田正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-182895
公開番号（公開出願番号）：特開平10-079640
出願日： 1997年07月08日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：

【要約】【課題】電極の端部での振動の反射を抑え、実質的に圧電基板に設けた突起により厚み振動の閉じ込めを行うことで、より制約が少なく自由な電極設計や、より幅広い電極材料の選択を可能とし、特性として、不要なスプリアスが抑制され、より低インピーダンスで、より高周波に対応するエネルギー閉じ込め圧電デバイスとこれを容易に製造する方法の提供。【解決手段】圧電基板1に突起4a、4bおよび4c、4dが設けられ、上面電極が励振電極2a、2bとダミー電極2cに分割され、分割されたそれぞれの電極間は極微少な間隔が設けられて、電極間は電気的には絶縁される。これにより厚み振動に対しては概ね反射を起こさず、厚み振動の振動エネルギー閉じ込めが実質的に圧電基板1に設けた突起によりなされる。

請求項（抜粋）：

厚み振動に用いる圧電基板と、前記圧電基板の両面に設けられた、前記厚み振動を行わせる一組又は複数組の励振電極と、前記厚み振動により発生する振動エネルギーを実質上閉じ込めるエネルギー閉じ込め用負荷とを備え、前記エネルギー閉じ込め用負荷が、前記励振電極の内側又は外側に設けられていることを特徴とする圧電デバイス。

IPC (3件)：

H03H 9/19 , H03H 3/02 , H03H 9/56

FI (3件)：

H03H 9/19 E , H03H 3/02 M , H03H 9/56 Z

引用特許：

審査官引用 (12件)

圧電振動子の電極構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-261626 出願人：株式会社大真空
高周波圧電振動デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-246861 出願人：株式会社大真空
特開昭50-159989

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