特許
J-GLOBAL ID：200903024417544668
共振子装置およびその周波数調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-243757
公開番号（公開出願番号）：特開平9-064682
出願日： 1995年08月29日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 Q値や温度特性等の共振特性を変化させずに共振子の発振周波数を調整することができる共振子装置およびその周波数調整方法を提供する。【解決手段】 基板2に薄肉ダイアフラム3を形成し、その上側に、下部電極5、圧電体4、上部電極6を積層形成して共振子7を設ける。共振子7の隣り側には、基板2の上側に下部電極5、誘電体10、上部電極11を積層形成して周波数調整用コンデンサ8を設ける。共振子7と周波数調整用コンデンサ8の下部電極は共通の下部電極5で形成されており、共振子7と周波数調整用コンデンサ8とは共通の下部電極5と配線材18とによって並列接続している。共振子7の発振周波数が設定の周波数よりも高・低にずれているときには、そのずれ量に応じ上部電極11の電極面積の増・減加工を行い、共振子7の共振特性を変化させずに発振周波数を設定の周波数に合わせる。
請求項（抜粋）：
基板の面上に、圧電体への電圧駆動によって振動を行う共振子と、この共振子に電気的に接続され誘電体を介して対向する電極面積の増減加工若しくは電極配線材の断続加工によって前記共振子の発振周波数を調整するための周波数調整用コンデンサとが配設されている共振子装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 9/17 F
, H03H 3/04 B
