特許
J-GLOBAL ID：200903024417723805
プラズマディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-154130
公開番号（公開出願番号）：特開平5-325793
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：
【要約】【目的】 耐熱性に優れるとともに出ガスがなく、しかも膜厚均一性、解像性、加工精度においても満足のいくカラーフィルターを形成する。【構成】 カラーフィルターを形成すべきガラス基板1上に耐熱性のある着色剤を含有した感光性樹脂組成物2を塗布する塗布工程と、カラーフィルターパターンのマスクを介しての露光によりパターニング部分2aを形成する工程と、非露光部分2bを現像によって除去する現像工程と、感光性樹脂組成物の有機分を焼成により焼失してフィルター部分3を形成する焼成工程によりカラーフィルターを形成する。着色剤としては、耐熱性顔料、色ガラス、基板ガラス中のアルカリイオンを着色イオンと交換するような材料が使用できる。
請求項（抜粋）：
カラーフィルターを形成すべきガラス基板上に耐熱性のある着色剤を含有した感光性樹脂組成物を塗布する塗布工程と、カラーフィルターパターンのマスクを介しての露光によりパターニング部分を形成する露光工程と、非露光部分を現像によって除去する現像工程と、感光性樹脂組成物の有機分を焼成により焼失してフィルター部分を形成する焼成工程とからなることを特徴とするプラズマディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方法。
IPC (2件)：
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