特許
J-GLOBAL ID：200903024427989315
原子間力顕微鏡装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-232278
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045160
出願日： 1991年08月20日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、被測定物が誘電体材料であったとしても正確な原子間力の測定ひいては正確な表面粗度の測定を容易に行うことが可能な原子間力顕微鏡装置を提供することを目的とする。【構成】 被測定物の表面と探針の先端とを微小間隔を置いて容器内において対向させ、前記被測定物及び探針を構成する各々の原子の間に働く原子間力を機械的変位に変換するように構成された原子間力顕微鏡装置において、前記容器内に電離ガスを供給するための電離ガス供給手段を設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被測定物の表面と探針の先端とを微小間隔を置いて容器内において対向させ、前記被測定物及び探針を構成する各々の原子の間に働く原子間力を機械的変位に変換するように構成された原子間力顕微鏡装置において、前記容器内に電離ガスを供給するための電離ガス供給手段を設けたことを特徴とする原子間力顕微鏡装置。
IPC (2件)：
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