特許
J-GLOBAL ID:200903024428187263
表面状態検査装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-111205
公開番号(公開出願番号):特開平10-300686
出願日: 1997年04月28日
公開日(公表日): 1998年11月13日
要約:
【要約】【課題】 対象物の形状等の変化や、対象物を照らす明るさの変化による影響を除いて、信頼性の高い検査を可能にする表面状態検査装置を提供する。【解決手段】 検査の対象物を表す画像信号を受け取り、この画像信号が示す画像を複数の領域に分割し、各領域の濃度値を算出する画像変換装置4と、画像変換装置4から各領域の濃度値を受け取り、領域の濃度値とこの領域に隣接する領域の濃度値との比を算出し、各領域の濃度の比と、あらかじめ設定された基準値との比較結果に基づいて、対象物の良否を判定する判定装置5とを備える。
請求項(抜粋):
検査の対象物を表す画像信号を受け取り、この画像信号が示す画像を複数の領域に分割し、各領域の濃度値を算出する変換部と、変換部から各領域の濃度値を受け取り、領域の濃度値とこの領域に隣接する領域の濃度値との比を算出し、各領域の濃度の比と、あらかじめ設定された基準値との比較結果に基づいて、対象物の良否を判定する判定部とを備える表面状態検査装置。
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