特許

J-GLOBAL ID：200903024428318538

熱硬化ポジ型感光性組成物

発明者： 堤 義高 ,  田中 哲夫 ,  宮村 裕之 ,  長谷川 正積
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-242828
公開番号（公開出願番号）：特開平7-098503
出願日： 1993年09月29日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：

【要約】【目的】 段差上での塗布性が良好である固体撮像素子、液晶素子等の製造時に用いられる熱硬化ポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、感光剤及び熱硬化剤並びに溶媒からなる段差基板用熱硬化ポジ型感光性組成物において、溶媒の主成分が乳酸アルキルエステル、アルコキシプロピオン酸アルキルエステル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル又はプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートから選択される1種の溶媒と沸点が150°C以下のケトン系溶媒との混合溶媒であるポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、感光剤として1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、熱硬化剤としてパターニング後の加熱処理により耐熱性及び耐薬品性を付与させる熱硬化剤並びに溶媒からなる熱硬化ポジ型感光性組成物において、該溶媒の主成分が乳酸アルキルエステル、アルコキシプロピオン酸アルキルエステル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル又はプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートから選択される1種の溶媒と沸点が150°C以下のケトン系溶媒の混合物であることを特徴とする熱硬化ポジ型感光性組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/022 ,  G02B 1/04 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/023 511