特許
J-GLOBAL ID：200903024440599836
欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-057138
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239243
出願日： 1997年02月26日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 円盤状の検査物でその被検査面上に模様(パターン)が描かれたものの欠陥検査を、高速でかつ安定した検出精度が得られ、安いコストで欠陥検査処理が行える検査装置を得る。【解決手段】 この検査装置は、円盤状の物体12における所定パターンが設けられた被検査面上の欠陥を検査する検査装置において、被検査面上のパターンを所定の結像面内に結像する結像光学系132と、円盤状の物体12を回転させながら移動させる回転移動手段11と、回転しながら移動する円盤状の物体12のほぼ中心を通るように配置され、被検査面の像を結像面内において1次元的に検出する光検出手段131と、円盤状の物体12が光検出手段131に対して回転したときに前記光検出手段131から得られる信号に 基づいて画像を得る画像取得手段14と、画像取得手段で得られた画像と、あらかじめ記憶されている画像情報とを比較することによって被検出面上の欠陥を検出する欠陥検出手段とを有する。
請求項（抜粋）：
円盤状の物体における所定パターンが設けられた被検査面上の欠陥を検査する検査装置において、前記被検査面上のパターンを所定の結像面内に結像する結像光学系と、前記円盤状の物体を回転させながら移動させる回転移動手段と、前記回転しながら移動する円盤状の物体のほぼ中心を通るように配置され、前記被検査面の像を前記結像面内において1次元的に検出する光検出手段と、前記円盤状の物体が前記光検出手段に対して回転したときに前記光検出手段から得られる信号に基づいて画像を得る画像取得手段と、前記画像取得手段で得られた画像と、あらかじめ記憶されている画像情報とを比較することによって前記被検出面上の欠陥を検出する欠陥検出手段とを有することを特徴とする欠陥検査装置。
FI (2件)：
G01N 21/88 E
, G01N 21/88 G
