回折格子の作製方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松隈秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-030796
公開番号（公開出願番号）：特開平5-232307
出願日： 1992年02月18日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：

【要約】【目的】非常に薄いと共に極めて軽い回折格子7を比較的安価に作製することを目的とする。【構成】回折格子パターン7aに対応するパターン7bを有するスタンパー60を形成し、このスタンパー60により樹脂基板61にこの回折格子パターン7aを転写し、この樹脂基板61の転写された回折格子パターン7a上に反射率の高い金属例えばAl,Auを蒸着し、その後この樹脂基板61の蒸着された金属膜62側を接着材63を介して被計測物64例えばヘッドアーム5に接着し、この接着材63が硬化後この被計測物64より、この樹脂基板61のみを剥離し、この被計測物64にこの金属膜62の回折格子パターン7aを作製するようにしたものである。

請求項（抜粋）：

回折格子パターンに対応するパターンを有するスタンパーを形成し、該スタンパーにより樹脂基板に上記回折格子パターンを転写し、該樹脂基板の転写された回折格子パターン上に反射率の高い金属を蒸着し、その後上記樹脂基板の蒸着された金属膜側を接着材を介して被計測物に接着し、該接着材が硬化後上記被計測物より上記樹脂基板のみを剥離し、上記被計測物に上記金属膜の回折格子パターンを作製するようにしたことを特徴とする回折格子の作製方法。

引用特許：

審査官引用 (15件)

特開昭64-004703
特開昭64-004703
特開昭59-065810

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