特許

J-GLOBAL ID：200903024455968943

荷電粒子線露光装置

発明者： 李 世文
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 渡部 温 ,  柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-257939
公開番号（公開出願番号）：特開2004-096008
出願日： 2002年09月03日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：

【課題】露光装置各部の振動によりパターン精度が悪化しないような対策を施した荷電粒子線露光装置を提供する。【解決手段】露光装置100の各部にセンサ110a〜110k、電磁アクチュエータ119a〜119dが設置されている。各センサ110a〜110kは、それぞれの設置箇所の振動を検出した後、その検出信号を、電磁アクチュエータ119a〜119d、あるいは、直接的にビーム制御系、間接的にプレディクタへとフィードバック又はフィードフォワードする。振動発生源の動作を予め知った上で振動を予測し、ビーム位置をフィードフォワード制御するので、形成するパターンの精度を一層向上できる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

感応基板上に荷電粒子線を選択的に照射してパターン形成する荷電粒子線露光装置であって、 前記荷電粒子線のビームを偏向・結像させる光学系の鏡筒及び/又はビーム位置制御部品(両者併せて鏡筒等という)に付設された振動センサと、 該振動センサの信号を受けて、前記鏡筒等の振動に起因する前記ビームの位置誤差を補正する補正信号を前記ビーム位置制御部品に送るビーム補正手段と、 を具備することを特徴とする荷電粒子線露光装置。

IPC (5件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01J37/147 ,  H01J37/16 ,  H01J37/305

FI (6件)：

H01L21/30 541D ,  G03F7/20 504 ,  H01J37/147 C ,  H01J37/16 ,  H01J37/305 B ,  H01L21/30 541S

Fターム (11件)：

2H097AA03 ,  2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5C033GG03 ,  5C034BB05 ,  5C034BB06 ,  5C034BB07 ,  5F056AA22 ,  5F056CC01 ,  5F056CC05 ,  5F056FA01