特許

J-GLOBAL ID：200903024467435436

レーザ加工装置

発明者： 礒 圭二
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-303125
公開番号（公開出願番号）：特開2002-103079
出願日： 2000年10月03日
公開日（公表日）： 2002年04月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 製造コストの上昇を抑制することが可能なレーザ加工装置を提供する。【解決手段】 レーザ光源1,2が、紫外領域の波長を有するレーザビームpl1,pl2を出射する。保持台12が、加工対象物20を保持する。集光レンズ11が、レーザ光源1,2から出射されたレーザビームpl1,pl2を、保持台12に保持された加工対象物20の表面上に集光させる。レンズ保護部材15が、集光レンズ11と保持台12との間に配置されている。レンズ保護部材15は、紫外領域の波長の光を透過させ、加工対象物からの飛散物が集光レンズ11に到達することを防止する。

請求項（抜粋）：

紫外領域の波長を有するレーザビームを出射するレーザ光源と、加工対象物を保持する保持台と、前記レーザ光源から出射されたレーザビームを、前記保持台に保持された加工対象物の表面上に集光させるレンズと、前記レンズと保持台との間に配置され、紫外領域の波長の光を透過させ、前記加工対象物からの飛散物が前記レンズに到達することを防止するレンズ保護部材とを有するレーザ加工装置。

IPC (3件)：

B23K 26/16 ,  H05K 3/46 ,  B23K101:42

FI (3件)：

B23K 26/16 ,  H05K 3/46 X ,  B23K101:42

Fターム (9件)：

4E068CD14 ,  4E068CG05 ,  5E346AA15 ,  5E346AA43 ,  5E346CC32 ,  5E346FF01 ,  5E346GG15 ,  5E346HH11 ,  5E346HH31