特許

J-GLOBAL ID：200903024467500955

マスキング治具およびその再生方法

発明者： 植松 卓也 ,  ポール・ネオ・テック・サン ,  前田 修一
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-210075
公開番号（公開出願番号）：特開平10-053857
出願日： 1996年08月08日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】 被膜剥離処理によってもサイズ変化や歪みが生じないマスキング治具およびその再生方法を提供する。【解決手段】 真空薄膜形成に用いるマスキング治具の再生方法であって、融点が80°C以上300°C以下の金属または合金により表面を被覆し剥離層としたマスキング治具を用い、該マスキング治具を剥離層の融点以上に加熱して該薄膜の剥離を行うマスキング治具の再生方法。

請求項（抜粋）：

真空薄膜形成に用いるマスキング治具の再生方法であって、融点が80°C以上300°C以下の金属または合金により表面を被覆し剥離層としたマスキング治具を用い、該マスキング治具を剥離層の融点以上に加熱して該薄膜の剥離を行うことを特徴とするマスキング治具の再生方法。