特許

J-GLOBAL ID：200903024479144119

感湿素子およびその製造方法

発明者： 山田 修也 ,  上戸 幸次 ,  梶 源太郎
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-248867
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087759
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：

【要約】【構成】組成式がSrFeO3-X (但し、0≦X≦0.8)で表される複合酸化物からなる感湿素子である。そして、このような感湿素子は、組成式がSrFeO3-X (但し、0≦X≦0.8)で表される組成範囲となるようにSr化合物とFe化合物を調合した後成形し、700〜1200°Cの酸化性雰囲気中で焼成した後、還元性雰囲気中において700〜900°Cの温度で熱処理する。【効果】直流電源で作動することができるために、交流電源やパルス電源回路を不要とすることができるとともに、相対湿度変化に対して指数関数的に電気抵抗が変化しないため、リニヤライザ回路を不要とすることができ、さらに、低湿度領域における測定を容易とすることができる。

請求項（抜粋）：

組成式がSrFeO3-X (但し、0≦X≦0.8)で表される複合酸化物からなる感湿素子。

IPC (3件)：

G01N 27/12 ,  H01C 7/00 ,  H01C 17/00