特許
J-GLOBAL ID：200903024485334841
ポジ型レジスト用剥離液
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿形 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-011554
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258825
出願日： 1993年10月26日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 剥離性に優れ、しかもアルミニウムや銅などの金属材料を腐食することのない新規なポジ型レジスト用剥離液を提供する。【解決手段】 (A)N-ヒドロキシアルキル置換のアミン及び含窒素複素環式ヒドロキシ化合物の中から選ばれた少なくとも1種の含窒素有機ヒドロキシ化合物及び(B)ピロカテコールを含有するか、あるいはさらにこれに加えて(C)水溶性有機溶剤を含有したポジ型レジスト用剥離液とする。
請求項（抜粋）：
(A)N-ヒドロキシアルキル置換のアミン及び含窒素複素環式ヒドロキシ化合物の中から選ばれた少なくとも1種の含窒素有機ヒドロキシ化合物及び(B)ピロカテコールを含有してなるポジ型レジスト用剥離液。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 7/42
, H01L 21/30 572 B
