ビーム輸送系

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-008597
公開番号（公開出願番号）：特開平11-204298
出願日： 1998年01月20日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】ビームの位置を自動で調整することで、操作性、信頼性を高めるビーム輸送系を提供すること。【解決手段】真空ダクト(1)に取り付けられ水平方向に設けられたスリット(211,212)と垂直方向に設けられたスリット(213,214)を有する少なくとも一つのビームスリット部(21)と、少なくとも一つの水平方向用ステアリング電磁石(3)、少なくとも一つの垂直方向用ステアリング電磁石(4)から構成されるビーム輸送系であり、ビームがいずれかの前記スリットに当たったときに該スリットに流れた電流を検出する電流検出手段(11)と、この電流検出手段(11)の検出結果を基に前記水平方向用及び垂直方向用ステアリング電磁石(3,4)の励磁量を制御する制御手段(10)と、を具備。

請求項（抜粋）：

真空ダクトに取り付けられ水平方向に設けられたスリットと垂直方向に設けられたスリットを有する少なくとも一つのビームスリット部と、少なくとも一つの水平方向用ステアリング電磁石、少なくとも一つの垂直方向用ステアリング電磁石から構成されるビーム輸送系であり、ビームがいずれかの前記スリットに当たったときに該スリットに流れた電流を検出する電流検出手段と、この電流検出手段の検出結果を基に前記水平方向用及び垂直方向用ステアリング電磁石の励磁量を制御する制御手段と、を具備したことを特徴とするビーム輸送系。

IPC (3件)：

H05H 7/00 , G01T 1/29 , G21K 1/093

FI (3件)：

H05H 7/00 , G01T 1/29 A , G21K 1/093 Z

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