エアフィルター検査用粒子及びエアフィルターの検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-075829
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266660
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】フィルターの下流側に流出して2次汚染を生じない、安定したフィルター検査のできる新規なフィルター検査用粒子及び検査方法を提供する。【解決手段】平均粒子径が20nm以下の固体の1次粒子から構成された凝集体粒子であって、粒子径が0.05μm以上、長短度(長軸長/短軸長)が1.0〜1.4である凝集体粒子から成るエアフィルター検査用粒子である。固体の1次粒子がシリカ粒子であるのが好ましい。さらに、平均粒子径が20nm以下の固体の1次粒子を含む懸濁液を噴霧することにより、凝集体粒子を発生させ、発生した凝集体粒子をエアフィルターの上流側に投入し、エアフィルターの下流側にリークする凝集体粒子を、粒子検出器を用いて検出することを含んで成るエアフィルターの検査方法である。

請求項（抜粋）：

平均粒子径が20nm以下の固体の1次粒子から構成された凝集体粒子であって、粒子径が0.05μm以上、長短度(長軸長/短軸長)が1.0〜1.4である凝集体粒子から成るエアフィルターの検査用粒子。

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