樹脂薄膜の製造方法及び製造装置及び電子部品

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-125400
公開番号（公開出願番号）：特開平9-310172
出願日： 1996年05月21日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】樹脂薄膜の製造方法及び薄膜の製造装置及び電子部品において、特に、樹脂薄膜の欠陥を低減し、溶剤希釈無しに欠陥の少ない樹脂薄膜を提供すること。【解決手段】樹脂系材料が付与されつつある、周回しつつ加熱された加熱ローラ11の表面から蒸発した前記樹脂系材料をAl蒸着基板3上に付着させて薄膜を形成する樹脂薄膜の製造方法であり、加熱ローラ11の表面に、一次霧化装置によって樹脂系材料を付与し、一次霧化装置から前記Al蒸着基板3が直接見通せない位置関係下で減圧雰囲気の下、薄膜を形成することにより、溶剤希釈を行わなくとも極薄の樹脂薄膜が安定して得られる。

請求項（抜粋）：