特許

J-GLOBAL ID：200903024512503529

照明光学系及びそれを用いた露光装置

発明者： 溝内 聡
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-331585
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163096
出願日： 1996年11月26日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】 干渉性低減部材に適切な特性の回折光学素子を用いることにより、硝材厚を殆ど増加させずに光束の干渉性を低減させて、光学的ノイズを少なくして、明るく均一にマスクを照明する照明光学系及びそれを用いた露光装置を得ること。【解決手段】 光源からの光束を少なくとも1 つの回折光学素子を有する干渉性低減部材に入射させ、該干渉性低減部材により該光束中の光線に光路差を与えて該光束の干渉性を低減させた後第1 物体を照明する。

請求項（抜粋）：

光源からの光束を少なくとも1 つの回折光学素子を有する干渉性低減部材に入射させ、該干渉性低減部材により該光束中の光線に光路差を与えて該光束の干渉性を低減させた後第1 物体を照明することを特徴とする照明光学系。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 505