特許
J-GLOBAL ID：200903024514063305
光半導体装置の位置合わせ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-306298
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159659
出願日： 1993年12月07日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 光学レンズの光軸と光半導体素子の発光点との位置合わせが精度よくでき、光ファイバーとの安定した高結合効率を得る。【構成】 マウントベース1に配設された光学レンズ8の光軸に、キャリアベース2上に配設された光半導体素子4の発光点を位置合わせするために、光半導体素子4を光学レンズ8を介して撮像用カメラ12で撮像し光学的に位置合わせすることにより、光学レンズ8の光軸に光半導体素子4の発光点を容易に、しかも精度よく位置合わせし接着できるようになる。これにより高精度で安定した光ファイバーとの結合効率を得ることができる。
請求項（抜粋）：
光半導体素子から出射される光を光学レンズを通して光ファイバーに入力する光半導体装置の位置合わせ方法であって、前記光半導体素子を前記光学レンズに光学的に位置合わせするために、撮像用カメラにより前記光学レンズを介して前記光半導体素子を撮像して、前記光学レンズの光軸に前記光半導体素子の発光点を位置合わせすることを特徴とする光半導体装置の位置合わせ方法。
IPC (2件)：
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