ポジ型感光性樹脂前駆体組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-122334
公開番号（公開出願番号）：特開2002-221794
出願日： 2001年04月20日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：

【要約】【課題】アルカリ現像可能なポジ型の感光性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)ポリマー主鎖末端に、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、チオール基より選ばれる基を少なくとも一つ有するポリアミド酸エステルと、(b)フェノール性水酸基を有する化合物と、(C)エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。

請求項（抜粋）：

(a)ポリマー主鎖末端に、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、チオール基より選ばれる基を少なくとも一つ有するポリアミド酸エステルと、(b)フェノール性水酸基を有する化合物と、(C)エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/10 , C08K 5/13 , C08K 5/42 , C08L 79/08 , G03F 7/004 501 , H01L 21/027

FI (7件)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/10 , C08K 5/13 , C08K 5/42 , C08L 79/08 A , G03F 7/004 501 , H01L 21/30 502 R

Fターム (59件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA10 , 2H025AA20 , 2H025AB16 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB41 , 2H025CC17 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J002CM041 , 4J002EJ016 , 4J002EJ026 , 4J002EJ036 , 4J002EJ046 , 4J002EV247 , 4J002FD146 , 4J002FD207 , 4J002GP03 , 4J043PA19 , 4J043PB13 , 4J043PB14 , 4J043PB17 , 4J043PB21 , 4J043PC07 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043RA05 , 4J043RA06 , 4J043SA06 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA22 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA261 , 4J043UA262 , 4J043UA362 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB152 , 4J043UB281 , 4J043UB301 , 4J043XA13 , 4J043XB27 , 4J043YA06 , 4J043ZA12 , 4J043ZA46 , 4J043ZB22

引用特許：

審査官引用 (4件)

感光性重合体組成物、レリ-フパタ-ンの製造法及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-086995 出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物、パタ-ンの製造法および電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-361263 出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
パターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-283385 出願人：株式会社東芝

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