特許
J-GLOBAL ID：200903024522778577
スラブ型ガスレーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-329173
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177463
出願日： 1992年12月09日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】 コンパクトで出力の大きい高周波放電励起スラブ型ガスレーザ装置を提供する。【構成】 各電極をその平面状の放電面を相対向するように配置し、該放電面間にスラブ状の放電空間を形成し、該放電空間にレーザガスを充満し、高周波電源により駆動してレーザ出力を発生するスラブ型ガスレーザ装置において、前記放電空間が上下2層に形成されるように、同一の極性に構成される2個の電極(10)及び(12)が、両面に前記放面が形成された他の極性に構成される共通電極(11)を挟んで上下に重ねて配置され、前記上下2層の放電空間が光学的結合手段(70)によって光学的に結合された、スラブ型ガスレーザ装置。
請求項（抜粋）：
各電極をその平面状の放電面を相対向するように配置し、該放電面間にスラブ状の放電空間を形成し、該放電空間にレーザガスを充満し、高周波電源により駆動してレーザ出力を発生するスラブ型ガスレーザ装置において、前記放電空間が複数の電極により層状に複数形成され、該層状の各放電空間が光学的に結合された、ことを特徴とするスラブ型ガスレーザ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/03 B
, H01S 3/097 D
