静電リニアモ-タ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-267734
公開番号（公開出願番号）：特開平5-111264
出願日： 1991年10月16日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【目的】静電モ-タの集積化を可能にするとともに容易に高精度な加工を行えるようにし、さらに、摩耗の発生を防止することが可能な静電リニアモ-タを提供することにある。【構成】固定子2と可動子3とのうち少なくとも一方を細管状とし、固定子2中に静電力を発生させ、可動子3を吸引して変位させる。

請求項（抜粋）：