特許
J-GLOBAL ID：200903024530327509
レビュー装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-364343
公開番号（公開出願番号）：特開平11-185627
出願日： 1997年12月19日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を修正するための修正台等、大型基板の所定座標箇所を観察する作業を行うレビュー装置で、基板の観察箇所を特定する作業を効率的にできるレビュー装置を提供する。【解決手段】 大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を修正するための修正台等、大型基板の所定座標箇所を観察する作業を行うレビュー装置で、基板面に沿う水平方向であるX方向と、X方向に直交して基板面に沿うY方向に移動可能な、顕微鏡、カメラ等の基板面を観察するための観察装置を備え、且つ、X方向、Y方向に沿って、それぞれ、X方向LED配列、Y方向LED配列を設けたものであって、該X方向LED配列、Y方向LED配列は、それぞれ、基板の所定のX方向位置、所定のY方向位置に、観察装置が位置した時のみ、対応するX方向LED配列のLED、対応するY方向LED配列のLEDのみを点灯するものである。
請求項（抜粋）：
大型基板の電極配線の断線欠陥、短絡欠陥を修正するための修正台等、大型基板の所定座標箇所を観察する作業を行うレビュー装置で、基板面に沿う水平方向であるX方向と、X方向に直交して基板面に沿うY方向に移動可能な、顕微鏡、カメラ等の基板面を観察するための観察装置を備え、且つ、X方向、Y方向に沿って、それぞれ、X方向LED配列、Y方向LED配列を設けたものであって、該X方向LED配列、Y方向LED配列は、それぞれ、基板の所定のX方向位置、所定のY方向位置に、観察装置が位置した時のみ、対応するX方向LED配列のLED、対応するY方向LED配列のLEDのみを点灯するものであることを特徴とするレビュー装置。
IPC (3件)：
H01J 9/50
, H01J 9/42
, H01J 17/49
H01J 9/50 A
, H01J 9/42 A
, H01J 17/49 Z
