特許
J-GLOBAL ID：200903024531966580
マイクロ波プラズマ生成装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-237378
公開番号（公開出願番号）：特開平8-102279
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【目的】 永久磁石の小形にして大形化に伴う問題を解消すること。【構成】 永久磁石3が電子加熱空間室部1において誘電体6のマイクロ波導出部6aで電子サイクロトロン共鳴磁場を越える大きさの磁場を形成すると共に、そこから電子加熱空間室部1とプラズマ生成空間室部2との境界付近の点14で0の磁場となるので、永久磁石3による磁場強度分布が急峻に減衰し、そのため、電子サイクロトロン共鳴層12の位置12a〜12cでは、マイクロ波のほとんどを電子に吸収させて電子を加熱することができる結果、高エネルギー電子にさせることができる。
請求項（抜粋）：
マイクロ波を導入する導波管と、該導波管内の誘電体より下流側の位置に形成された電子加熱空間室部と、電子加熱空間室部に連結されたプラズマ生成空間室部と、電子加熱空間室部の外周を永久磁石により取り囲み、電子加熱空間室部内でマイクロ波の伝送方向に沿ってかつ前記誘電体のマイクロ波導出部おいて電子サイクロトロン共鳴磁場強度を越える強磁場を形成すると共に、誘電体のマイクロ波導出部から電子加熱空間室部とプラズマ生成空間室部との境界部分との間で急峻に磁場が立ち下がり、さらに電子加熱空間室部とプラズマ生成空間室部との境界部分からプラズマ生成空間室部方向に向かうに従い前記強磁場と方向が反転するカスプ状磁場を形成させる第一の静磁場発生手段と、プラズマ生成空間室の周囲に互いに極性を順次違えて配置された永久磁石からなる第二の静磁場発生手段とを有することを特徴とするマイクロ波プラズマ生成装置。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
