特許
J-GLOBAL ID：200903024538151914
感放射線性組成物用アルカリ性現像液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-066395
公開番号（公開出願番号）：特開平6-282080
出願日： 1993年03月25日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：
【要約】【効果】 本発明は、感放射線性組成物を用いてレジストパターンあるいはカラーフィルタなどを製造するに際して、感放射線性組成物から形成された塗膜のアルカリ可溶性部分を溶解除去することができ、シャープなパターンエッジを有するレジストパターンあるいはカラーフィルタを、多数枚かつ長期間に亘って安定して形成することができるとともに、高濃度の現像液としても調製することができるような感放射線性組成物用アルカリ性現像液を提供する。【構成】 本発明に係る感放射線性組成物用アルカリ性現像液は、[A]0.1重量%水溶液がpH10以上を示すアルカリ性化合物、[B]双極子イオン性有機化合物および[C]陰イオン性界面活性剤、陽イオン性界面活性剤および非イオン性界面活性剤からなる群から選択される少なくとも1種の界面活性剤が水に溶解されてなる。この界面活性剤としては、非イオン性界面活性剤が好ましい。
請求項（抜粋）：
[A]0.1重量%水溶液がpH10以上を示すアルカリ性化合物、[B]双極子イオン性有機化合物および[C]陰イオン性界面活性剤、陽イオン性界面活性剤および非イオン性界面活性剤からなる群から選択される少なくとも1種の界面活性剤が水に溶解されてなることを特徴とする感放射線性組成物用アルカリ性現像液。
IPC (2件)：
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