特許

J-GLOBAL ID：200903024539202261

インク吐出口形成のためのマスク板形成方法

発明者： 鈴木 伊左雄 ,  下里 正志
出願人/特許権者： 株式会社テック
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-099931
公開番号（公開出願番号）：特開平10-286968
出願日： 1997年04月17日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】 レーザ加工により高精度の円形開口を備えたマスク板を形成することである。【解決手段】 レーザ発振器と、このレーザ発振器から出力されたレーザ光を円形に制御するビーム整形素子と、このビーム整形素子の像を結像するレンズ群とを有する加工光学系と、レーザ照射角に対して垂直な平面内で少なくとも一方向に移動及び位置決め可能な移動手段とを備えた加工装置を設け、主たる成分中に鉄分を含まない合金あるいは非鉄金属板からなる二枚のマスク板素材を重ね合わせ、重ね合わされた二枚のマスク板素材47に対して所定の位置に前記加工装置によりレーザ光を照射して複数個の円形開口57を形成し、重ね合わせた二枚のマスク板素材47の内、レーザ照射側の一枚をインク吐出口形成のためのマスク板60として利用するようにした。

請求項（抜粋）：

高分子材料からなるノズル板をインクが供給される溝が形成されたヘッド本体の端面開口部に接着するノズル板接着工程と、前記ノズル板の表面に多数の円形開口を有するマスク板を接着するマスク接着工程と、前記マスク板の上方の少なくとも2方向以上の入射角でレーザ光を照射して前記マスク板に設けられた円形開口部分の接着剤と前記ノズル板の高分子膜を除去する孔明工程と、前記マスク板を取り外すマスク板取外工程とよりなるインクジェットヘッドのインク吐出口形成方法において、レーザ発振器と、このレーザ発振器から出力されたレーザ光を円形に制御するビーム整形素子と、このビーム整形素子の像を結像するレンズ群とを有する加工光学系と、レーザ照射角に対して垂直な平面内で少なくとも一方向に移動及び位置決め可能な移動手段とを備えた加工装置を設け、主たる成分中に鉄分を含まない合金あるいは非鉄金属板からなる二枚のマスク板素材を重ね合わせ、重ね合わされた二枚のマスク板素材に対して所定の位置に前記加工装置によりレーザ光を照射して複数個の円形開口を形成し、重ね合わせた二枚のマスク板素材の内、レーザ照射側の一枚をインク吐出口形成のためのマスク板として利用するようにしたことを特徴とするインク吐出口形成のためのマスク板形成方法。

IPC (2件)：

B41J 2/135 ,  B23K 26/00 330

FI (2件)：

B41J 3/04 103 N ,  B23K 26/00 330