特許

J-GLOBAL ID：200903024540063780

プローブ測定ネットワーク評価用システム

発明者： エリック ダブリュー ストライド ,  ジェリー ビー シャパッチャー ,  ケイ リード グリーソン ,  デイル イー カールトン
出願人/特許権者： カスケード マイクロテック インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-083659
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288342
出願日： 1996年04月05日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 プローブ測定ネットワーク内の信号状態の評価に使用する相互接続アセンブリを提供する。【解決手段】 ベース62と、各別の内部プローブエリア98及び外部プローブエリア100と、基準接続部110と、プレーナプローブエリアと基準接続部との間を、プローブエリア上におけるネットワークのデバイス測定用プローブ先端の位置が変化しても、高周波数信号をこれらの間で均等に伝送しうるように接続する高周波数伝送構造部106とを具える。プローブ測定ネットワークの信号チャネルの評価においては、基準ユニットを基準接続部に接続し、注目の信号チャネルに対応する各デバイス測定用プローブ先端50を内部プローブエリア上に順次位置させる。伝送構造部が信号を均等に伝送するため、各プローブ先端に入る又は出る信号の相対状態は基準ユニットにより測定又は供給される信号の状態にほぼ合致する。

請求項（抜粋）：

互いに離間した第1及び第2のデバイス測定用プローブ先端を有するタイプのプローブ測定ネットワークの信号状態を評価するのに使用するアセンブリであって、(a)上部表面を有するベースと;(b)前記上部表面上に互いに離間して互いに共平面関係に位置し、且つそれらの上にそれぞれ前記第1及び第2のデバイス測定用プローブ先端が同時に位置しうるように配置されている第1及び第2の導電性プレーナプローブエリアと;(c)基準接続部と;(d)前記第1及び第2の導電性プレーナプローブエリアを前記基準接続部に接続する伝送構造部であって、前記デバイス測定用プローブ先端が対応するプローブエリア上に位置しうる各位置において前記デバイス測定用プローブ先端と前記基準接続部との間にほぼ一定の高周波数伝送特性の伝送線路を与える高周波数伝送構造部と;を具えたことを特徴とするプローブ測定ネットワーク評価用アセンブリ。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28

FI (3件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 31/26 G ,  G01R 31/28 S