特許
J-GLOBAL ID：200903024540207064
表面欠陥検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小杉 佳男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-000737
公開番号（公開出願番号）：特開平8-189904
出願日： 1995年01月06日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：
【要約】【目的】表面欠陥を容易に、かつ高精度に検出し、欠陥の形状又は欠陥種、等級を精度よくかつ柔軟に判断することができ、欠陥種の増減にも柔軟に対応できる表面欠陥装置を提供する。【構成】微分画像データに基づいて、濃淡画像内に、表面欠陥の存在する蓋然性の高い画像領域を1つもしくは複数設定し、設定された各画像領域毎に、その各画像領域に対応する微分画像データに基づいて、表面欠陥の有無を判断する欠陥有無判断部、および各画像領域毎の画像データもしくは微分画像データに基づいて、その各部分画像毎に、表面欠陥の特徴を表わす特徴量を抽出し、特徴量に基づいて、その各画像領域毎に、表面欠陥を同定する欠陥有無判断部と並行に動作する欠陥評価部を備えた。
請求項（抜粋）：
被検体表面の濃淡画像を表わす画像データに基づいて、該被検体の表面欠陥を検出する表面欠陥検出装置において、前記画像データを記憶する画像データ記憶部、前記画像データ記憶部に記憶された画像データを微分することにより微分画像データを生成する微分処理手段と、該微分画像データに基づいて、前記濃淡画像内に、前記表面欠陥の存在する蓋然性の高い画像領域を1つもしくは複数設定する領域設定手段と、該領域設定手段で設定された各画像領域毎に、該各画像領域に対応する微分画像データに基づいて前記表面欠陥の有無を判断する欠陥有無判断手段とを備えた欠陥有無判断部、および前記欠陥有無判断部により欠陥が有と判断された各画像領域に対応する画像データもしくは微分画像データを、該各画像領域毎に記憶する画像メモリと、該画像メモリに記憶された各画像領域毎の画像データもしくは微分画像データに基づいて、該各部分画像毎に、前記表面欠陥の特徴を表わす特徴量を抽出する特徴量抽出手段と、該特徴量に基づいて、該各画像領域毎に前記表面欠陥を同定する表面欠陥同定手段と、該各画像領域毎に同定された前記表面欠陥を総合して前記濃淡画像全体に亘る表面欠陥を評価する濃淡画像評価手段とを有する、前記欠陥有無判断部と並行に動作する欠陥評価部を備えたことを特徴とする表面欠陥検出装置。
IPC (3件)：
G01N 21/89
, G01N 23/205
, G06T 7/00
G06F 15/62 400
, G06F 15/70 330 N
