特許

J-GLOBAL ID：200903024564994490

X線露光装置

発明者： 柴山 昭則 ,  金井 宗統
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-160035
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349714
出願日： 1993年06月07日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】 突起物の有無を検出し突起物によるX線マスク上のメンブレン部の破損を未然に回避する。【構成】 ウエハ基板6の両側に設けたY方向ガイド20,21にレーザ発生部22とレーザ受光部24をそれぞれ配設し、これらを同期して走査方向に移動させる。レーザ発生部22から出射したレーザ光23をウエハ基板6の表面近傍を通過させ、レーザ受光部24によって受光する。レーザ光23はウエハ基板6の表面に突起物がない場合、そのままレーザ受光部24によって受光され、突起物がある場合は突起物に当たって散乱するため、レーザ受光部24によって受光される光量が減少し、突起物の存在を検知する。X線マスクの表面についても同様に突起物の有無を検知する。

請求項（抜粋）：

X線マスクとウエハ基板とを近接させて設置し、前記X線マスク上のパタンをX線を用いて前記ウエハ基板上に転写するX線露光装置において、前記X線マスク上あるいは前記ウエハ基板上またはこれら両者の表面上の所定値以上の大きさの突起部分の有無を検出する突起物検出手段を備えたことを特徴とするX線露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 27/00 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521