特許

J-GLOBAL ID：200903024565863195

超音波洗浄装置

発明者： 中嶋 英貴
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-050520
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252248
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 この発明は処理液によって不足させられることがなく、しかも超音波振動を繰り返して受け手も変形や損傷し難くした超音波洗浄装置を提供することにある。【解決手段】 超音波振動が付与された処理液によって被洗浄物を洗浄するための超音波洗浄装置において、内部に処理液が供給される本体1と、この本体に設けられ本体内に供給された処理液を流出させるノズル体5と、上記本体内に設けられ一方の面が本体内に供給される処理液に接触する振動板12と、この振動板の他方の面に設けられ振動板を超音波振動させる超音波振動子11とを具備し、上記本体とノズル体のうち、少なくともノズル体は、PBI(ポリベンゾイミダゾール)またはPEEK(ポリエーテルエーテルケトン)の合成樹脂によって形成されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

超音波振動が付与された処理液によって被洗浄物を洗浄するための超音波洗浄装置において、内部に処理液が供給される本体と、この本体に設けられ本体内に供給された処理液を流出させるノズル体と、上記本体内に設けられ一方の面が本体内に供給される処理液に接触する振動板と、この振動板の他方の面に設けられ振動板を超音波振動させる超音波振動子とを具備し、上記本体とノズル体のうち、少なくともノズル体は、PBI(ポリベンゾイミダゾール)またはPEEK(ポリエーテルエーテルケトン)の合成樹脂によって形成されていることを特徴とする超音波振動装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 643 ,  B08B 3/12

FI (2件)：

H01L 21/304 643 D ,  B08B 3/12 A

Fターム (5件)：

3B201AA03 ,  3B201BB21 ,  3B201BB84 ,  3B201BB85 ,  3B201BB95